电子行业常见的废气及废气处理吸收塔的净化方式
点击次数：166 更新时间：2025-08-19
在电子行业生产过程中，会产生多种废气，主要包括酸性废气、碱性废气、挥发性有机废气（VOCs）、含氟废气等。这些废气若未经处理直接排放，会对环境和人体健康造成危害，因此需要采用有效的净化方式加以治理。
一、酸性废气
酸性废气主要来源于蚀刻、清洗等工艺过程中使用的酸液，如盐酸、硝酸、磷酸等。常见的净化方式是采用碱液喷淋塔，利用碱性溶液（如氢氧化钠溶液）与酸性气体发生中和反应，生成无害的盐类和水。这种吸收塔通过气体分布器将废气均匀分布，使废气与喷淋的碱液充分接触，从而实现高效的净化效果。
二、碱性废气
碱性废气主要来源于光刻工序中使用的四甲基氢氧化铵（TMAH）等碱性物质。处理这类废气通常采用酸液喷淋塔，利用硫酸等酸性溶液进行吸收。通过喷淋塔的多级喷淋和填料层的接触，可以有效去除碱性气体，达到环保排放标准。
三、挥发性有机废气（VOCs）
VOCs主要来源于涂胶、显影工序以及有机溶剂清洗过程。处理VOCs的吸收塔净化方式包括：
活性炭吸附：利用活性炭的高吸附性能，将VOCs吸附在活性炭表面，从而实现净化。这种方法适用于低浓度、大风量的VOCs废气处理。
沸石浓缩转轮+燃烧：先通过沸石浓缩转轮将VOCs浓缩，然后将浓缩后的高浓度废气进行燃烧处理。这种方法净化效率高，适合处理高浓度的VOCs废气。
催化燃烧：在催化剂的作用下，VOCs在较低温度下被氧化分解为二氧化碳和水。催化燃烧技术适用于处理中高浓度的VOCs废气，具有高效、节能的特点。
四、含氟废气
含氟废气主要来源于干蚀刻、化学气相沉积等工艺中使用的全氟化合物（PFCs）。处理含氟废气的吸收塔净化方式包括：
燃烧法：通过燃料燃烧器将PFCs分解，然后用碱性溶液吸收产生的酸性气体。
催化氧化法：利用催化剂在较低温度下将PFCs氧化分解。
洗涤塔：通过碱性溶液洗涤，去除废气中的氟化物。
五、其他废气
电子行业还可能产生一些其他废气，如一般废气和含氮氧化物废气。一般废气通常含有废热，可直接排放。含氮氧化物废气则可通过选择性催化还原（SCR）或选择性非催化还原（SNCR）技术进行处理。
总之电子行业产生的废气种类繁多，成分复杂，需要根据废气的性质选择合适的净化方式。吸收塔作为一种有效的废气处理设备，通过物理吸收、化学反应等原理，能够实现对多种废气的高效净化，为电子行业的可持续发展提供了重要保障。
